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拓荆科技公司业务

高端半导体专用设备

拓荆科技公司简介

拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦于半导体薄膜沉积设备的研发和生产，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已展开10nm及以下制程产品验证测试。 公开披露信息显示，公司下游客户包含中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂商。