赛微电子：控股子公司MEMS生物芯片通过验证并启动试产

1月10日电，赛微电子公告，控股子公司赛莱克斯北京代工制造的某款MEMS（简称为微机电系统）生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订单，启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等，将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中，同时可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。